Marché public identifié

L’Unité Mixte de Recherche CNRS n°6174 (FEMTO-ST) souhaite acquérir une machine de dépôt chimique en phase vapeur par injection de liquide, capable de répondre aux exigences avancée en matière de dépôt de couches minces (oxydes et métaux nobles), de croissance de couches minces d’épaisseur atomique contrôlée et conforme sur des structures 3D (ALD), de procédés CVD/ALD assistés par plasma micro-ondes, ainsi que le traitement thermique rapide, pour des applications scientifiques et de recherche et développement.

Attribué par CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Montant identifié

126 249 EUR

Notifié le

18/04/2025

Durée

13 mois

Version courante

n° 1

Attributaires déclarés

Classification et zones

Codes CPV

  • Fours et accessoires · CPV 42942000

Zones d'exécution

25

Provenance

Ces données viennent des Données Essentielles de la Commande Publique. Nous les republions sans les corriger.

Source
decp_consolidated
Récupérée le
21/08/2026
Schéma
2.0.0

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